光刻膠膜厚儀的磁感應(yīng)測(cè)量原理
http://tampammac.com/ask/8119940.html
  • 光刻膠膜厚儀的磁感應(yīng)測(cè)量原理主要基于磁通量的變化來(lái)測(cè)定光刻膠膜的厚度。具體來(lái)說(shuō),這種測(cè)量原理利用了從測(cè)頭經(jīng)過(guò)非鐵磁覆層(即光刻膠膜)而流入鐵磁基體的磁通的大小來(lái)確定覆層的厚度。在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中,測(cè)頭靠近被測(cè)物體表面,產(chǎn)生一個(gè)磁場(chǎng)。當(dāng)測(cè)頭接觸到光刻膠膜時(shí),磁場(chǎng)的一部分會(huì)穿過(guò)非鐵磁性的光刻膠膜,進(jìn)入下方的鐵磁基體。由于光刻膠膜的厚度不同,磁通量的大小也會(huì)有所變化。通過(guò)******測(cè)量磁通量的大小,就可以推算出光刻膠膜的厚度。此外,磁感應(yīng)測(cè)量原理還可以測(cè)定與之對(duì)應(yīng)的磁阻的大小,這也可以用來(lái)表示覆層的厚度。磁阻是磁場(chǎng)在物質(zhì)中傳播時(shí)遇到的阻力,它與物質(zhì)的性質(zhì)以及磁場(chǎng)的強(qiáng)度有關(guān)。因此,通過(guò)測(cè)量磁阻的大小,也可以間接地得到光刻膠膜的厚度信息。這種磁感應(yīng)測(cè)量原理具有非接觸、高精度、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),因此被廣泛應(yīng)用于光刻膠膜厚度的測(cè)量中。同時(shí),隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,光刻膠膜厚儀的測(cè)量精度和穩(wěn)定性也在不斷提高,為半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的發(fā)展提供了有力支持??偟膩?lái)說(shuō),光刻膠膜厚儀的磁感應(yīng)測(cè)量原理是一種基于磁通量變化來(lái)測(cè)定光刻膠膜厚度的有效方法,具有廣泛的應(yīng)用前景。

更多內(nèi)容
更多>

精選分享

按字母分類: A| B| C| D| E| F| G| H| I| J| K| L| M| N| O| P| Q| R| S| T| U| V| W| X| Y| Z| 0-9

增值電信業(yè)務(wù)經(jīng)營(yíng)許可證:粵B2-20191121         |         網(wǎng)站備案編號(hào):粵ICP備10200857號(hào)-23         |         高新技術(shù)企業(yè):GR201144200063         |         粵公網(wǎng)安備 44030302000351號(hào)

Copyright ? 2006-2025 深圳市天助人和信息技術(shù)有限公司 版權(quán)所有 網(wǎng)站統(tǒng)計(jì)