高真空分子泵工作原理

高真空分子泵的工作原理主要基于氣體分子的動量傳遞，其詳細(xì)過程如下： 分子泵的部件是高速旋轉(zhuǎn)的葉片（轉(zhuǎn)子），這些葉片與定子之間形成微小的間隙。當(dāng)轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速達(dá)到每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)的級別時，會產(chǎn)生強大的離心力場和牽引力場。此時進(jìn)入氣隙的氣體分子會與快速運動的葉輪發(fā)生碰撞并獲得動量，沿著葉的螺旋槽道被加速并導(dǎo)向排氣口方向運動；同時受離心力的作用向四周擴(kuò)散而被壓縮并從出口排出。這一過程中會發(fā)生多次碰撞、吸附及解吸作用使得大量動能轉(zhuǎn)化為內(nèi)能或勢能而終消耗掉從而使氣體的壓力降低達(dá)到抽氣的目的。由于多級結(jié)構(gòu)的設(shè)計每一級都進(jìn)一步降低了系統(tǒng)的壓強直至實現(xiàn)所需的超高真空度通?？蛇_(dá)到10^-9Torr甚至更低水平范圍。