渦輪分子泵技術(shù)咨詢

渦輪分子泵（TMP）是現(xiàn)代高/超高真空系統(tǒng)的設(shè)備，通過高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片與氣體分子碰撞實(shí)現(xiàn)定向抽氣。其技術(shù)特點(diǎn)與選型需關(guān)注以下要素：一、關(guān)鍵性能參數(shù)1.極限真空：TMP可達(dá)10??~10?1?Pa，半導(dǎo)體、表面分析等超凈環(huán)境需選擇10??P產(chǎn)品。2.抽速（L/s）：根據(jù)腔體容積和工藝氣體量計(jì)算。常見范圍50~5000L/s，需匹配實(shí)際需求（如500L/s可滿足中型鍍膜腔）。3.壓縮比：對氫氣的壓縮比是關(guān)鍵指標(biāo)（通常10?~10?），影響系統(tǒng)終真空度。二、選型考量-軸承技術(shù)：-磁懸浮軸承：零磨損、免維護(hù)，振動小，適用精密儀器（如電鏡），但成本高。-陶瓷滾珠軸承：，需定期維護(hù)（建議2-3年更換），適用工業(yè)量產(chǎn)設(shè)備。-前級泵匹配：需配置旋片泵或干泵作為前級，抽速建議不低于TMP的1/10（例：500L/sTMP配≥50L/s前級泵）。-氣體兼容性：腐蝕性氣體（如Cl?、HF）需選擇特殊涂層葉輪（氮化鈦涂層等），避免腐蝕損傷。三、使用注意事項(xiàng)1.啟動保護(hù)：必須在≤1Pa下啟動（避免葉片過載），建議配備壓力聯(lián)鎖保護(hù)。2.振動控制：精密測量場景需選擇振動值100,000小時。>建議：半導(dǎo)體工藝優(yōu)先考慮磁懸浮泵；工業(yè)鍍膜可選陶瓷軸承泵。務(wù)必提供具體工況（目標(biāo)真空、氣體種類、預(yù)算），以便推薦型號。如需進(jìn)一步探討具體型號對比或故障解決方案，請聯(lián)系潽拓提供詳細(xì)應(yīng)用參數(shù)。