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早期電鏡中曾采用過機(jī)械式消像散器,利用手動機(jī)械裝置來調(diào)整電磁透鏡周圍的小磁鐵 組成的消像散器,來改變透鏡磁場分布的缺陷。但由于調(diào)整的性和使用的方便性均難令人滿意,這種方式已被淘汰。消像散器由圍繞光軸對稱環(huán)狀均勻分布的8個小電磁線圈構(gòu)成,用以消除(或減?。╇姶磐哥R因材料、加工、污染等因素造成的像散。其中每4個互相垂直的線圈為1組,在任一直徑方向上的2個線圈產(chǎn)生的磁場方向相反,用2組控制電路來分別調(diào)節(jié)這2組線圈中的直流電流的大小和方向,即能產(chǎn)生1個強(qiáng)度和方向可變的合成磁場,以補(bǔ)償透鏡中所原有的不均勻磁場缺陷(圖中橢圓形實(shí)線),以達(dá)到消除或降低軸上像散的效果。

電子顯微鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西,在微觀世界中,這個微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。

掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,干旱脅迫電鏡檢測服務(wù),而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時間、空間順序逐點(diǎn)形成并在鏡體外顯像管上顯示。

二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用泛,分辨本領(lǐng)的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。

透射電鏡的終成像結(jié)果,顯現(xiàn)在觀察室內(nèi)的熒光屏上,觀察室處于投影鏡下,空間較大,開有1~3個鉛玻璃窗,可供操作者從外部觀察分析用。對鉛玻璃的要求是既有良好的透光特性,又能阻斷X射線散射和其他有害射線的逸出,還要能可靠地耐受極高的壓力差以隔離真空。由于電子束的成像波長太短,不能被人的眼睛直接觀察,電鏡中采用了涂有熒光物質(zhì)的熒光屏板把接收到的電子影像轉(zhuǎn)換成可見光的影像。觀察者需要在熒光屏上對電子顯微影像 進(jìn)行選區(qū)和聚焦等調(diào)整與觀察分析,這要求熒光屏的發(fā)光,光譜和余輝適當(dāng),分辨力好。多采用能發(fā)黃綠色光的硫化鋅-鎘類熒光粉做為涂布材料,直徑約在15~20cm。

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