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像素和束斑的匹配并非指束斑完全小于像素框,電鏡技術(shù)服務(wù),束斑可以看成是一個(gè)衍射波,中間呈類(lèi)似高斯分布,只要半高寬和像素大致相等則視為匹配。而此時(shí)束斑的大小是大于像素的。

而且掃描電鏡是靠電子束的掃描運(yùn)動(dòng),只要不同像素點(diǎn)覆蓋區(qū)域的電子產(chǎn)額能夠被探測(cè)器有效處理和區(qū)分,那電鏡圖片也就能區(qū)分。所以?huà)呙桦婄R是完全可分辨比束斑更小的細(xì)節(jié)的,而有點(diǎn)地方說(shuō)掃描電鏡不能區(qū)分比束斑更小的說(shuō)法是不夠嚴(yán)密的。束斑是單點(diǎn)像素1.3~2倍左右,都是匹配的條件。

所以反映在電鏡圖像上,改變焦距的時(shí)候會(huì)出現(xiàn)兩個(gè)嚴(yán)重的拉伸,拉伸方向可能因樣品而不同,但是這兩個(gè)拉伸方向一定正交。所以此時(shí)將焦距調(diào)節(jié)至兩個(gè)拉伸明顯狀態(tài)的中間位置,基本固定焦距。然后在此焦距下,進(jìn)行消像散線(xiàn)圈的調(diào)節(jié),先調(diào)X或Y中的一個(gè)維度,待圖像達(dá)到清楚后再調(diào)節(jié)另一個(gè)維度。

有關(guān)拉伸方向的判斷并不困難,試樣中的各種特征點(diǎn)都可以作為判斷依據(jù),比如孔洞或者顆粒,或者樣品邊緣,都可以輕易的進(jìn)行判斷。尤其在像散比較大時(shí),不要焦距和像散的兩個(gè)維度亂調(diào)一氣,以免像散過(guò)大而完全無(wú)從判斷。

電子顯微鏡是使用電子來(lái)展示物件的內(nèi)部或表面的顯微鏡。高速的電子的波長(zhǎng)比可見(jiàn)光的波長(zhǎng)短(波粒二象性),而顯微鏡的分辨率受其使用的波長(zhǎng)的限制,因此電子顯微鏡的理論分辨率(約0.1納米)遠(yuǎn)高于光學(xué)顯微鏡的分辨率(約200納米)。

透射電子顯微鏡(Transmission electron microscope,縮寫(xiě)TEM),簡(jiǎn)稱(chēng)透射電鏡 ,是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān),因此可以形成明暗不同的影像,影像將在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件)上顯示出來(lái)。

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