什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,北京流量計哪家好,以及真空鍍膜設備,手持式流量計哪家好,光纖熔煉,智能電磁流量計哪家好,微反應裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。
由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。
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流量控制器
一定要按實際使用氣體標定顯示嗎?
不一定。按實際實際使用氣體標定顯示,顯示的是實際氣體的流量, 比較直觀。但在很多的實際應用場合,只需要找到一個合適的流量參數(shù)并保證測量和控制的重復性,至于該氣體的實際質(zhì)量流量是多少,用戶并不是特別關(guān)心。在這種情況下,您直接使用廠家的標準出廠產(chǎn)品(氮氣標定顯示)也可以。當然,如前面所提到的,渦輪流量計哪家好,您在選定流量規(guī)格時,需要換算一下,以選擇合適的量程。對于某些用戶,同一個產(chǎn)品有時可能會通不同的氣體,這種情況下,直接使用氮氣標定出廠的產(chǎn)品更方便。
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