金剛石的成核機(jī)理
在研究金剛石的成核機(jī)理等基礎(chǔ)理論方面是較為完善的一種。盡管合成速度較慢約為1~2um/h,但沉積的金剛石薄膜質(zhì)量高,與基體結(jié)合好。
近發(fā)展的等離子體輔助熱絲CVD法(EACVD),不僅獲得遠(yuǎn)比一般熱絲CVD法更高的沉積速度(10—20um/h),而且金剛石膜的質(zhì)量得到顯著提高。
先將真空室抽成真空,再將熱絲加熱到1800℃~2400℃的高溫,通往含碳?xì)庠春虷2,氣體通過(guò)熱絲時(shí)被分解成原子H,電鍍金剛石磨邊輪價(jià)格,CH3,C2H2等基團(tuán),這些活性基團(tuán)在800℃~1100℃的基體上反應(yīng)形成金剛石晶核,再生長(zhǎng)成金剛石膜。其中絲的材質(zhì)、溫度、絲與基體間的距離、氣體種類比例、基體溫度等對(duì)金剛石形核和生長(zhǎng)都影響。
金剛石鋸片的選擇參數(shù)標(biāo)準(zhǔn):
金剛石粒度的選擇:當(dāng)金剛石粒度粗且為單一粒度時(shí),鋸片刀頭鋒利,鋸切,但金剛石結(jié)塊的抗彎強(qiáng)度下降;當(dāng)金剛石粒度細(xì)或粗細(xì)粒度混合時(shí),鋸片刀頭耐用度高,但效率較低。綜合考慮以上因素,選擇金剛石粒度為50/60目較為適宜。
油石、磨石:油石是用磨料和結(jié)合劑等制成的條狀固結(jié)磨具。油石在使用時(shí)通常要加油潤(rùn)滑,故名。油石一般用于手工修磨刀具和零件,也可裝夾在機(jī)床上進(jìn)行珩磨和超精加工。油石有人造的和天然的兩類,形狀很多。本文并沒(méi)有再對(duì)油石進(jìn)行分類,同樣使用屬性來(lái)區(qū)分。
影響金剛石成核生長(zhǎng)的兩方面
磨料磨具中從影響金剛石成核生長(zhǎng)的熱力學(xué)和動(dòng)力學(xué)方面考慮,主要有:襯底(基片)材料、襯底(基片)的預(yù)處理、襯底(基片)的爐內(nèi)處理、沉積氣源(氣體中碳的濃度)、襯底(基片)溫度、氣體壓強(qiáng)以及氫原子在沉積中的作用。
在這些因素中,對(duì)成膜的質(zhì)量,沉積速率都有影響,但是由于沉膜過(guò)程的復(fù)雜,各種不同的制備方法與工藝參數(shù)又互相關(guān)聯(lián),彼此之間又有差異,各工藝參數(shù)對(duì)學(xué)和金剛石膜的質(zhì)量和沉積速率的影響都還沒(méi)有特定的規(guī)律和精辟的解釋。
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