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氣體傳輸泵氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵,這種泵基本上有兩種類型:變?nèi)菡婵毡美帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵,氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種:(1) 往復式真空泵:是利用泵腔內(nèi)活塞做往復式運動,將氣體吸入、壓縮并排出。因此,又稱為活塞式真空泵。
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⑶真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。
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這種傳動方式的大缺點是:a.主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調(diào)整也不便;b.整體結構不勻稱,泵的偏向電動機和齒輪箱一側。特點(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;(2)轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現(xiàn)較高轉速;
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