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由電子發(fā)射的電子束可達(dá)30keV，經(jīng)會(huì)聚透鏡、物鏡縮小和聚焦，在樣品表面形成一個(gè)具有一定能量、強(qiáng)度、斑點(diǎn)直徑的電子束。在掃描線圈的磁場(chǎng)作用下，入射電子束在樣品表面上按照一定的空間和時(shí)間順序做光柵式逐點(diǎn)掃描。由于入射電子與樣品之間的相互作用，將從樣品中激發(fā)出二次電子。由于二次電子收集極的作用，可將各個(gè)方向發(fā)射的二級(jí)電子匯集起來(lái)，再將加速極加速射到閃爍體上，轉(zhuǎn)變成光信號(hào)，經(jīng)過(guò)光導(dǎo)管到達(dá)光電倍增管，使光信號(hào)再轉(zhuǎn)變成電信號(hào)。這個(gè)電信號(hào)又經(jīng)視頻放大器放大并將其輸送至顯像管的柵極，調(diào)制顯像管的亮度。因而，再熒光屏上呈現(xiàn)一幅亮暗程度不同的、反映樣品表面形貌的二次電子象。

曝光控制有手控和自控兩種方法，快門(mén)啟動(dòng)裝置通常并聯(lián)在活動(dòng)熒光屏板的扳手柄上。電子束流的大小可由探測(cè)器檢測(cè)，給操作者以曝光指示；或者應(yīng)用全自動(dòng)曝光模式由計(jì)算機(jī)控制，按程序選擇曝光亮度和曝光時(shí)間完成影像的拍攝記錄?，F(xiàn)代電鏡都可以在底片上打印出每張照片拍攝時(shí)的工作參數(shù)，如：加速電壓值、放大率 、微米標(biāo)尺、簡(jiǎn)要文字說(shuō)明、成像日期、底片序列號(hào)及操作者注解等備查的記錄參數(shù)。觀察室與照相室之間有真空隔離閥。以便在更換底片時(shí)，抗性淀粉含量技術(shù)服務(wù)，只打開(kāi)照相室而不影響整個(gè)鏡筒的真空。

電子顯微鏡是使用電子來(lái)展示物件的內(nèi)部或表面的顯微鏡。高速的電子的波長(zhǎng)比可見(jiàn)光的波長(zhǎng)短（波粒二象性），而顯微鏡的分辨率受其使用的波長(zhǎng)的限制，因此電子顯微鏡的理論分辨率（約0.1納米）遠(yuǎn)高于光學(xué)顯微鏡的分辨率（約200納米）。

透射電子顯微鏡（Transmission electron microscope，縮寫(xiě)TEM），簡(jiǎn)稱(chēng)透射電鏡 ，是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向，從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān)，因此可以形成明暗不同的影像，影像將在放大、聚焦后在成像器件（如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件）上顯示出來(lái)。

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