氣體質(zhì)量流量控制器在真空鍍膜機(jī)中的使用
真空鍍膜機(jī)中經(jīng)常使用到的熱式氣體質(zhì)量流量控制器主要是用來控制氣體的進(jìn)氣量,把氣體流量準(zhǔn)確的輸入到真空腔室內(nèi)。AC-S030C系列的氣體質(zhì)量流量控制器主要是用于控制微小流量的氣體,采用全新的制作工藝,是在20℃,1個(gè)大氣壓條件下標(biāo)定的,主要是指氣體在1分鐘的體積流量單位。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)
熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件,一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值,使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí),電加熱消耗的能量,也可以說熱消散值,與流過氣體的質(zhì)量流量成正比。
質(zhì)量流量控制器
蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且沉積在基片表面,實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)報(bào)價(jià),經(jīng)歷成膜過程,形成薄膜。
流量控制器的作用
鋼包吹氬處理又稱剛液吹氬處理,是一種簡易的鋼液脫氣和去除非金屬夾雜物的爐外精煉方法。這種方法工藝簡單,設(shè)備便宜,精煉效果明顯。依據(jù)所需處理鋼液在常溫下的組織以及處理目的的不同,流量計(jì)報(bào)價(jià),吹入鋼液的氣體,可以選用氬氣、氮?dú)?、水蒸氣、空氣,或先吹入氮?dú)狻⑺魵?、空氣,然后再吹入氬氣。鋼液吹氬處理有重要的冶金意義。
使用LF系列氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行鋼包吹氬的方式有兩種:一種鋼包底吹,質(zhì)量流量計(jì)報(bào)價(jià),一種鋼包頂吹。鋼包吹氬受壓力的影響。吹氬壓力越大,攪動(dòng)力越大,氣泡上升越快。但吹氬壓力過大,氬氣流涉及范圍就越來越小,甚至形成連續(xù)氣泡柱,進(jìn)口氣體質(zhì)量流量計(jì)報(bào)價(jià),而且容易造成鋼包液面劇烈翻滾,鋼液大量露在與空氣接觸造成二次氧化和降溫。鋼渣相混,被擊碎乳化的爐渣入鋼水深處,使夾雜物含量增加。所以很大壓力以不沖破渣層露出液面為限。壓力過小,攪拌能力弱,吹氬時(shí)間延長,甚至造成透氣磚堵塞。
所以壓力過大過小都不好,理想的吹氬壓力是使氮?dú)饬鞅椴颊麄€(gè)鋼包,氬氣泡在鋼液內(nèi)呈均勻分布。萊峰流體氣體質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成,它利用流動(dòng)的流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成,其原理是采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大,然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較,用所得的差值去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
能準(zhǔn)確可靠的測量和控制氣體質(zhì)量流量,測量和控制精度高、零飄小,測量和控制范圍寬,測量和控制的準(zhǔn)確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響。不管是在鋼包底吹還是鋼包頂吹都能很好的控制氬氣均勻的注入,使鋼液在澆注前成分、溫度均勻,實(shí)現(xiàn)連鑄工藝正?;岣咪摬臎_擊韌性等。
流量控制器分類
按照通訊方式的不一樣,熱式氣體質(zhì)量流量控制器主要分為模擬型0-5V或4-20mA和數(shù)字型RS485 modbus RTU協(xié)議。隨著工業(yè)行業(yè)的節(jié)能減排、節(jié)約成本、保護(hù)環(huán)境這方面的要求越來越嚴(yán)格,氣體質(zhì)量流量控制器在各行業(yè)中都廣泛使用,特別是在:鋼鐵冶金、環(huán)保行業(yè)、新能源行業(yè)、氫燃料電池等行業(yè)。
應(yīng)用行業(yè):真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備、食品科學(xué)與工程設(shè)備、能源與環(huán)境保護(hù)設(shè)備、各種分析儀器設(shè)備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。
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