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掃描電鏡技術(shù)服務(wù)-科銳諾

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物鏡

處于樣品室下面,緊貼樣品臺,是電鏡中的個成像元件,在物鏡上產(chǎn)生哪怕是極微小的誤差,都會經(jīng)過多級高倍率放大而明顯地暴露出來,所以這是電鏡的一個重要部件,決定了一臺電鏡的分辨本領(lǐng),可看作是電鏡的心臟。

特點 物鏡是一塊強磁透鏡,焦距很短,對材料的質(zhì)地純度、加工精度、使用中污染的狀況等工作條件都要求極高。致力于提高一臺電鏡的分辨率指標(biāo)的問題,便是對物鏡的性能設(shè)計和工藝制作的綜合考核。盡可能地使之焦距短、像差小,又希望其空間大,便于樣品操作,但這中間存在著不少相互矛盾的環(huán)節(jié)。

從試樣表面形貌獲得多方面資料。在掃描電子顯微鏡中,不僅可以利用入射電子和試樣相互作用產(chǎn)生各種信息來成象,掃描電鏡技術(shù)服務(wù),而且可以通過信號處理方法,獲得多種圖象的特殊顯示方法,還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。因為掃描電子象不是同時記錄的,它是分解為近百萬個逐次依此記錄構(gòu)成的,因而使得掃描電子顯微鏡除了觀察表面形貌外,還能進(jìn)行成分和元素的分析,以及通過電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析,選區(qū)尺寸可以從10μm到2μm。

還有一種新型的電子場發(fā)射式電子qiang,由1個陰極和2個陽極構(gòu)成,陽極上施加一稍低(相對第2陽極)的吸附電壓,用以將陰極上面的自由電子吸引出來,而第2陽極上面的極高電壓,將自由電子加速到很高的速度發(fā)射出電子束流。這需要超高電壓和超高真空為工作條件,它工作時要求真空度達(dá)到10-7Pa,熱損耗,使用壽命可達(dá)2000 h;電子束斑的光點更為尖細(xì),直徑可達(dá)到10nm以下,較鎢絲陰極(大于10nm)縮小了3個數(shù)量級;由于發(fā)光,它發(fā)出光斑的亮度能達(dá)到10 A/cm·s,較鎢絲陰極(106 A/cm·s )也提高了3個數(shù)量級。場發(fā)射式電子因技術(shù)、造價昂貴,只應(yīng)用于高分辨電鏡當(dāng)中。

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