檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏??紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)間隙容易控制,轉(zhuǎn)子裝配方便,泵占地面積小。較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構(gòu)也相對復雜。
蒸發(fā)離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上,以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的較高,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。
真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,真空泵公司,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。
真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實堅固的場所,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護、保養(yǎng)。如真空泵口安裝電磁閥時,閥與真空泵應(yīng)同時動作。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展,真空泵的種類已發(fā)展了很多種,根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小真空泵可采用真空膠管連接,
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