真空氣氛管式爐使用氫氣作為工作氣體時(shí)
1、接通氫氣氣路,回轉(zhuǎn)爐,對各接頭處用肥皂水檢漏,確認(rèn)不漏氣。
2、確認(rèn)各閥門處于關(guān)閉狀態(tài)。
3、逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)旋鈕開氫氣瓶主閥,順時(shí)針旋動(dòng)旋鈕,緩慢打開出口減壓閥,使出口氣壓在0.1MPa。
4、 接通機(jī)械泵電源,打開管式爐出口閥和機(jī)械泵氣路上的兩個(gè)閥門,抽5分鐘。
5、關(guān)閉機(jī)械泵氣路上的兩個(gè)閥門,關(guān)閉管式爐出口閥門,關(guān)機(jī)械泵。
6、逆順時(shí)針打開上氣路控制閥,回轉(zhuǎn)爐廠,使箭頭指向“開”位置。
7、逆順時(shí)針調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕,使示數(shù)在20ml/min。
8、逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕,打開管式爐進(jìn)氣閥,直至氣壓表讀數(shù)為零。
9、打開管式爐進(jìn)氣閥,打開氫氣氣路上的紅色出口閥門。
10、在通氫氣滿十分鐘后,才能開始加熱管式爐。加熱前,逆時(shí)針調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕,回轉(zhuǎn)爐企業(yè),使錐形瓶中氣泡出現(xiàn)的速度為2個(gè)/秒鐘。
管式電爐是實(shí)驗(yàn)室常用的材料燒結(jié)設(shè)備。那么管式電爐有哪些種類呢?
1、按照控溫區(qū)域可以飛為單溫區(qū)管式爐和多溫區(qū)管式爐(比如,雙溫區(qū)管式爐,三溫區(qū)管式爐,五溫區(qū)管式爐等)。
3、還可以按照真空度分為高、低真空管式爐。
4、其它的也可按用途也:比如快速退火管式爐,CVD管式爐、PECVD管式爐等。
管式電爐的應(yīng)用范圍極廣,給管式電爐分類是為了更好的理解管式爐的性能和工作方式,平時(shí)工作中也有一些約定俗成的叫法.
管式爐法蘭經(jīng)過特殊設(shè)計(jì),能實(shí)現(xiàn)對樣片通電處理,滿足特殊實(shí)驗(yàn)要求。爐體的控制面板配有智能溫度調(diào)節(jié)儀,回轉(zhuǎn)爐報(bào)價(jià),控制電源開關(guān)、主加熱工作/停止按鈕,工作狀態(tài)指示燈,以便隨時(shí)觀察本系統(tǒng)的工作狀態(tài)。一些較大管徑和溫區(qū)的管式爐使得連續(xù)生產(chǎn)的效率大幅提高,即可通氣氛也可抽真空,以便滿足更多材料的生產(chǎn)工藝,此設(shè)備還包含了兩路氣體控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)無人值守工作。管式爐集控制系統(tǒng)與爐膛為一體,爐襯使用真空成型高純氧化鋁聚輕材料,采用電阻絲為加熱元件,該設(shè)備采用立式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),石英管豎直放置與爐膛內(nèi)部,四周加熱絲均勻分布,加熱元件與爐管平行,均勻地分布在爐管外,有效的保證了溫場的均勻性。
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